Substrate-dependent thermal conductivity of aluminum nitride thin-films processed at low temperature

Journal Article
Scudeller, B. E. Belkerk, S. Bensalem, A. Soussou, M. Carette, H. Al Brithen, M. A. Djouadi, and Y. . 2014
المجلة \ الصحيفة: 
Applied Physics Letters
رقم العدد: 
105
رقم الإصدار السنوي: 
2014
الصفحات: 
221905