[2008] Synthesis and Characterization of Al2O3 and SiO2 Films with Fluoropolymer Content using RF-Plasma Magnetron Sputtering Technique

Journal Article

• المجلة \ الصحيفة: J. Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
• رقم العدد: 2
• رقم الإصدار السنوي: 26
• الصفحات: 198-204