Effect of the functionalization process on the performance of SiGe MEM resonators used for bio-molecular sensing

Journal Article

Verheyen, . Khaled, M. Raoof, V. Cherman , K. Jans , M. Abbas, Sh. Ebrahim, G. Bryce, P. . 2012

• المجلة \ الصحيفة: Microelectronics Reliability
• رقم العدد: 9-10
• رقم الإصدار السنوي: 52
• الصفحات: 2272-2277